在正確選擇工藝方法、加工規(guī)準的前提下，還經(jīng)常出現(xiàn)造成加工誤差超偏、出現(xiàn)不合格產(chǎn)品的問題。造成加工誤差超偏的原因很多，經(jīng)分析，主要有下列幾點。
（1）交下誤差 校正誤差是指工具電極與工作臺面（或工件表面）對刀、校正誤差太大，即不夠垂直，則圓截面的工具電極加工出的圓孔截面會變扁、變長。設(shè)工具電極直徑為d，與垂直線的夾角為α，則傾斜的工具電極端面剛進入工件時，它在水平面內(nèi)的截面為一橢圓，橢圓的短軸為原電極的直徑d，長軸為d′=d/cosα。此時工件上的橢圓截面尺寸，在周邊上還需加上單面放電間隙S′。如果工具電極向下進給深度h，則工件上水平面內(nèi)加工出的橢圓截面被拉長擴大了一段距離l=h·tanα。如果這一段距離超過允許范圍，就會成為不合格產(chǎn)品。
（2）主軸誤差 如果機床主軸向下進給的方向與工作臺面不垂直，而工具電極校正得比較垂直，則加工時隨著加工深度h的增加，圓截面的電極在水平面內(nèi)被拉長位移了l=htanα的距離，成為長圓形，如果這被拉長的距離超過允許范圍，同樣也會造成廢品。如果一旦出現(xiàn)此類原因，一定重新測試檢查機床主軸運動與工作臺的垂直度、直線度等，以及數(shù)控系統(tǒng)的失動量和定位精度等，只有各項都復(fù)測合格，才能減少加工誤差。
（3）機床剛度和熱變形 機床剛度不好，也會造成加工誤差，影響加工質(zhì)量。因為在電火花放電過程中，存在放電爆炸力，工作液沖抽油有一定的壓力。影響最大的是加工面積較大和工具電極質(zhì)量較大時，在快速抬刀時，加工間隙內(nèi)瞬時形成局部真空“吸住”工具電極不易向上抬刀，會使主軸“瞬時低頭、變形”，造成較大加工誤并，反之抬刀后在進入放電狀態(tài)前，間隙中的工作液會阻止電極接近工件，主軸又會“瞬時抬頭”。在工具電極質(zhì)量較大，瞬時抬刀加速（或橫移）時，也需要很大的力來克服慣性滯后，在減速停止運動時，也有很大的過沖慣性力，足以引起加工誤差。頻繁的抬刀、換速對主軸施加的慣性力和液體阻尼力，使機床剛度對加工誤差的影響不能忽視。過去認為電火花加工是不接觸加工、無切削力的加工，機床剛度無關(guān)緊要的觀點是片面的，不全面的。越是精密加工、越是精密級機床，其剛度越是重要，剛度已成為保證高精度、高質(zhì)量的前提。所以說機床的剛度和熱變形也是造成加工誤差的重要原因。
（4）工作液的影響 電火花加工必須在工作液中運行，工作液的臟污程度直接影響加工斜度（又稱錐度）和加工間隙的大小。而產(chǎn)生斜度的根本原因是放電間隙中的“二次放電”。工作液越臟（即含有大量電蝕產(chǎn)物的工作液）二次放電的機會越多，其加工斜度越大，加工間隙也越大，嚴重的往往會造成尺寸超差（即加工誤差大），所以必須定期更換過濾芯，使用干凈的工作液。
