微孔加工是指小孔0.1mm的孔，稱為微孔。例如在光學系統(tǒng)中的光欄、噴墨打印機噴孔都需10~50μm的微孔。加工微孔的關(guān)鍵是要有直徑小的工具電極，而且要安裝得與待加工孔的工件表面非常垂直。
（1）微小軸（工具電極）的制作 實現(xiàn)微細孔電火花放電加工的首要條件之一是微小工具電極的在線制作和安裝。與金屬絲矯直、拉拔或金屬塊反拷等方法相比，采用精密旋轉(zhuǎn)主軸頭與線電極放電磨削相結(jié)合制作微小軸（工具電極）的方法，更容易得到更小尺寸的電極軸，且保證較高的尺寸和形狀精度。軸的成形是通過線電極絲和被加工軸間的放電加工來實現(xiàn)的。線電極絲磨削絲緩慢沿走絲導塊上導槽面滑移，被加工軸隨主軸頭旋轉(zhuǎn)及軸向進給。
工具電極軸的材料為紫銅，加工電壓為100V，采用RC線路的脈沖電源，限流電阻器R=2000Ω，放電電容器C為1000pF，正極性加工，澆注的工作液為煤油。
在加工過程中，被加工軸隨主軸的旋轉(zhuǎn)運動在保證軸加工圓度的同時，避免了集中放電或短路，使放電加工連續(xù)正常進行。線電極磨削絲沿導槽面的移動，補償了自身的放電損耗，確保被加工軸的尺寸精度。若使主軸不旋轉(zhuǎn)，僅利用線磨削絲沿導槽面相對被加工軸的移動，亦可實現(xiàn)修扁或非圓截面的加工。
值得注意的是，采用旋轉(zhuǎn)主軸頭與線電極放電磨削走絲機構(gòu)相結(jié)合制作微小軸（工具電極）的方法時，旋轉(zhuǎn)主軸的徑向圓跳動，線電極磨削絲的直徑均勻度以及走絲平穩(wěn)性都直接影響軸的加工精度和可能達到的極限尺寸。
（2）高深徑比微小孔的加工 利用微小軸作為工具電極，軸向進給直接加工微小孔時，很難達到穩(wěn)定的加工狀態(tài)，因此加工效率極低，在非圓截面孔的加工中尤成問題。使工具電極隨主軸旋轉(zhuǎn)，利用微小圓軸（φ≤0.1mm）進行微小圓孔的加工一般可順利達到0.4mm左右的深度。但當孔深達到約0.5mm以上時，由于排屑不暢，加工狀態(tài)趨于不穩(wěn)定，加工效率急劇下降，甚至加工無法繼續(xù)進行。加工微小孔時利用工作液循環(huán)強制排屑很難奏效，排屑須依靠放電時產(chǎn)生的壓力和小氣泡自動帶出。工具電極的旋轉(zhuǎn)雖然有助于排屑和提高加工穩(wěn)定性，但由于側(cè)向放電間隙較小，使得能夠加工的孔深畢竟有限。
為實現(xiàn)高深徑比微小孔的高效率加工，可采取修扁工具電極的方法。利用線電極放電磨削機構(gòu)將電極軸二邊對等削去一部分。實際單側(cè)削去部分。實際單側(cè)削去部分約為軸徑的1/5~1/4，既不過分削弱軸的剛度和端面放電面積，又造成足夠的屑空間。用這種削邊電極加工微小孔時，電極隨主軸旋轉(zhuǎn)，排屑效果顯著改善，在加工深徑比達10以上的微小孔時，能夠保持穩(wěn)定用煤油作為工作液，在不銹鋼材料上打穿深1mm、直徑φ0.5mm的微小孔所用的加工時間3~4min。
